public class ObjectChooserScript : MonoBehaviour {

public int param1 = 0;
public int param2 = 0;
public int param3 = 0;
public int param4 = 0;
public int param5 = 0;
public int param6 = 0;

void Start () {

param1 = Random.Range (0, 4);
param2 = Random.Range (0, 7);
param3 = Random.Range (0, 5);
param4 = Random.Range (0, 5);
param5 = Random.Range (0, 9);
param6 = Random.Range (0, 2);
}

public class ObjectSpawnerScript : MonoBehaviour {
public Transform myObject;
public int maxObjects = 10;
public int curObjects = 0;

// Use this for initialization
void Start () {
    for (int i = curObjects; i < maxObjects; i++) {
// тут просто определяются координаты, по которым создается объект
            Instantiate (myObject, new Vector3(Random.Range (-9, 9)
                                           , Random.Range(-3, 6)
                                           , Random.Range(0, 4)), Quaternion.identity);
            curObjects++;

        }
}

public class Param
{
    public int Value;
    public int TLim;
    public int DLim;

    public Param(int d, int t)
    {
        TLim = t;
        DLim = d;
        Value = d;
    }
}

public class Spawner : MonoBehaviour
{
    Param[] param = new Param[5];
    GameObject PrefabWithObjectChooserScript;
    static List<int[]> Combinations = new List<int[]>();

    void Start()
    {
        param[0] = new Param(0, 2);
        param[1] = new Param(0, 3);
        param[2] = new Param(0, 4);
        param[3] = new Param(0, 4);
        param[4] = new Param(0, 3);


    }
// Вызвать эту функцию для генерации нового объекта.
    public void Generate()
    {
        if(Combinations.Count > 0)
        {
            var go = Instantiate(PrefabWithObjectChooserScript) as GameObject;
            go.GetComponent<ObjectChooserScript>().Init(Combinations[Combinations.Count - 1]);
            Combinations.RemoveAt(Combinations.Count - 1);

            return;
        }



        for (int i = param.Length - 1; i >= 0; --i)
        {
            if (param[i].Value != param[i].TLim)
            {
                int[] values = new int[param.Length];
                for (int g = 0; g < param.Length; ++g)
                    values[g] += param[g].Value;

                var go = Instantiate(PrefabWithObjectChooserScript) as GameObject;
                go.GetComponent<ObjectChooserScript>().Init(values);

                ++param[i].Value;
                for (int j = i + 1; j < param.Length; ++j)
                {
                    param[j].Value = param[j].DLim;
                }

                return;
            }
        }

        Debug.Log("Больше нет доступных комбинаций");
    }


    public static void ReturnValues(int [] values)
    {
        Combinations.Add(values);
    }
}



public class ObjectChooserScript : MonoBehaviour
{
    public int [] param = new int[5];

    public void Init(int[] p)
    {
        for (int i = 0; i < p.Length; ++i)
            param[i] = p[i];
    }

    private void OnDestroy()
    {
        Spawner.ReturnValues(param);
    }
}

public void InitParams(params int[] myparams)
{
    param1 = myparams[0];
    param2 = myparams[1];
    // ...  и т.д.
}

void Start () {
    param6 = Random.Range (0, 2);
}

List<int[]> arrayList = new List<int[]>();

using System;
using System.Collections.Generic;
using System.Linq;

List<int[]> arrayList = new List<int[]>();

int[] GenerateRandom() {
    int[] params = new int[5];
    params[0] = Random.Range (0, 4);
    params[1] = Random.Range (0, 7);
    params[2] = Random.Range (0, 5);
    params[3] = Random.Range (0, 5);
    params[4] = Random.Range (0, 9);

   // тут логика сравнения массива с массивами в списке
   // Если есть совпадение, то перевызываем метод GenerateRandom()
   foreach (var array in arrayList) {
       if (myparams.Length == array.Length && myparams.Intersect(array).Count() == myparams.Length) {
           return GenerateParams();
       }
   }

   // если всё норм, то добавляем в список:
   // возвращаем массив:
   arrayList.Add(myparams);
   return myparams;
}


for (int i = curObjects; i < maxObjects; i++) {
    // Берем индивидуальный список уникальных параметров
    var myparams = GenerateRandom();
    // Инстанциируем объект
    var myobj = Instantiate (myObject, new Vector3(Random.Range (-9, 9)
                                   , Random.Range(-3, 6)
                                   , Random.Range(0, 4)), Quaternion.identity);
    // пихаем в него параметры
    myobj.InitParams(myparams);
    curObjects++;

}